直讀光譜分析儀在用戶中很受歡迎，但作為一種精密測試儀器，光譜分析儀有時會出現一些小故障。
光譜分析儀出現排氣不暢故障，氬氣排氣管路堵塞，火花室下部的彎頭內有異物，氬氣過濾器入口端有異物。一般這種情況需要更換排氣管，并定期對排氣管路進行吹掃。
光譜分析儀有時候會出現真空泵不自動啟動故障。這個時候需要先看泵油溫度是否較低，重新斷電后，手動啟動真空泵，有時需停頓一下，再試。有時候也會出現真空值下降快的情況，我們需要真空值曲線是否平緩，否則，有漏氣的地方，檢查真空室真空蓋密封性，更換密封圈或對角緊固螺絲。
一般情況下光譜分析儀光強值下降，原因一般多為透鏡臟，或者入射狹縫污染和光纖老化，這個時候需要我們擦拭透鏡，清理狹縫，更換光纖。
光譜分析儀P、S穩定性不好，檢查真空泵是否被誤關掉，真空光路鏡片是否需要清洗，一個維護不好的光路會導致錯誤的重現性和分析結果。需要我們檢查真空泵及清洗鏡片。
另外光譜分析儀用久了，激發臺會因點打的太多了，出現放電漏氣現象，導致光強上不去，需要經常清理激發臺板及火花室。
其實不論哪款品牌的直讀光譜儀，用久了難免會出現一些小問題，如果有不明白可以直接咨詢光譜儀廠家售后，尤其現在國產光譜儀的售后服務是非常不錯的。當然在光譜儀平時的使用過程中，大家也要注意光譜儀的保養，嚴格準守光譜儀操作說明。
